影响高精度电火花机加工精度的主要因素：

1.放电间隙对加工精度的影响：对高精度电火花机加工放电间隙大小的定量认识，是确定加工方案的基础。其中，包括工具电极形状、尺寸的设计，加工工艺步骤的设计、加工规准的选择与切换以及相应工艺措施的设计等等。

2.加工斜度的影响：在高精度电火花机加工中，侧壁的加工斜度是不可避免的。对于一些需要有一定斜度的模具，成形模的脱模斜度、冲模的落料斜度等，高精度电火花机加工过程中的自然斜度是有益的。但是，在加工精度的直壁模具中，加工斜度则对保证加工精度带来了困难。

3.棱角倒圆的影响：在成形加工中，工具电极尖棱、尖角处损耗速度一般比较快。因此在加工中很难加工出清棱清角，这样就影响了高精度电火花机成形加工的仿形精度。棱角倒圆有损耗的原因，同时也有工艺方面的原因、例如：在型腔加工中，一般都采用”手动“或”摇动'加工工艺，很多情况下，尤其使国产平动头，都采用仿圆轨迹的运动方式。在型腔加工修光的同时，又产生了棱角倒圆的副作用。因此，对清棱清角要求高的功件，只能增加工具电极穿透的深度（冷冲模），或在线修整电极，或更换电极。平动或摇动，因有斜十字、米字等多种摇动轨迹、有助于解决棱角损耗角度。

4.其它因素：还有一些其它因素，如：工具电极损耗。镜面加工时间长电极损耗大；工作液污染严重；冲油比抽油斜度也大（沉渣泛起）；成形加工装置的精度；工具电极的装卡、找正精度都会造成斜度影响。甚至电极形状不同，高精度电火花机通道压力不均，机械刚性差等也会对斜度产生影响；伺服不稳定，工具电极提升频繁，二次放电增多等等都会增大加工斜度，进而会影响放电间隙，也影响了加工精度。